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華高儀器于2025年09月12日發(fā)布了文章【島津 SMX-6010：微焦點 X 射線檢測儀】。作為在儀器設(shè)備行業(yè)服務(wù)了多年的經(jīng)銷商，華高儀器有著專業(yè)的儀器銷售團隊以及售后服務(wù)人員，在采購前期能給客戶一套專業(yè)完善的采購方案以及及時響應(yīng)的售后服務(wù)。
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在需要觀察物體內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷的檢測領(lǐng)域，日本島津推出的 Xslicer SMX-6010 微焦點 X 射線檢測儀，憑借設(shè)計與實用的功能，為各類樣品檢測提供支持。該設(shè)備屬于堅直照射型 X 射線檢查設(shè)備，搭配了島津自主生產(chǎn)的微焦點 X 射線發(fā)生器和高分辨率平板探測器，能通過高清晰度與寬動態(tài)范圍的圖像，呈現(xiàn)樣品細(xì)微的內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷，同時可簡單快速地實現(xiàn)透視 / CT 模式切換，滿足不同工作場景下的多種觀察需求，其檢測范圍覆蓋從體積持續(xù)縮小的電子元件到密度逐漸提高的多層實裝基板。
核心 CT 拍攝模式與特點
SMX-6010 配備傾斜 CT 與直線 CT 兩種核心拍攝模式，針對不同類型樣品的檢測需求提供適配方案：
傾斜 CT：在拍攝大型實裝板等樣品時，由于樣品放置于 XY 載物臺上，可將其移近 X 射線發(fā)生裝置，進(jìn)而實現(xiàn)高倍放大拍攝。尤其對于基板上的樣品，不同于直線 CT 易受樣品寬度影響，傾斜 CT 能有效規(guī)避這一問題，保障高放大倍率攝影的順利進(jìn)行。
直線 CT：主要用于拍攝大型基板等樣品，但存在一定使用限制。若為獲取高放大倍率而將樣品靠近 X 射線發(fā)生裝置側(cè)，在 CT 拍攝過程中，樣品會與 X 射線產(chǎn)生互相干擾，導(dǎo)致無法完成高倍放大攝影，實際應(yīng)用中需結(jié)合樣品特性合理選擇。
系統(tǒng)核心構(gòu)成與功能
SMX-6010 的系統(tǒng)構(gòu)成圍繞 “便捷維護、安全使用、適配檢測" 設(shè)計，各核心部件功能明確：
X 射線發(fā)生裝置：搭載管電壓 160kV、1μm 分辨率的開放管 X 射線發(fā)生裝置（注：1μm 分辨率基于 JIMA Chart 測試），實現(xiàn)高壓發(fā)生器一體化設(shè)計，無需進(jìn)行高壓電纜維護；同時配備自動調(diào)整功能，讓燈絲更換操作更加簡便。
X 射線檢出器：搭載 300 萬像素平板檢出器，為圖像采集提供清晰基礎(chǔ)，助力呈現(xiàn)樣品內(nèi)部細(xì)節(jié)。
5 軸載物臺：除樣品搭載對應(yīng)的 XYZ 軸外，檢出器還可實現(xiàn)傾斜與旋轉(zhuǎn)動作，通過 5 軸聯(lián)動，能夠支持所有角度的檢查工作，適配不同樣品的檢測角度需求。
X 射線防護箱：核心作用是屏蔽設(shè)備外部泄漏的 X 射線，確保泄漏到外部的射線低于 1μSv/h；同時具備正面門扉鎖定機構(gòu)，在 X 射線照射時，正面門扉無法打開；另有聯(lián)鎖機構(gòu)，當(dāng)門扉處于打開狀態(tài)時，5 軸載物臺不會發(fā)生移動，從設(shè)計上保障使用安全。
碰撞檢測傳感器：在 X 射線檢出器周圍裝有該傳感器，當(dāng)出現(xiàn)緊急情況（如樣品碰撞）時，驅(qū)動系統(tǒng)會立即停止工作，避免設(shè)備與樣品受損。
使用條件與配套要求
SMX-6010 在使用條件上有明確標(biāo)準(zhǔn)，僅需在 AC200 V±10 %、1.5 kVA（且接地電阻 100Ω 以下）的電力條件下即可正常動作，無需額外供應(yīng)空氣、冷卻水等輔助資源，簡化了設(shè)備安裝與使用時的配套準(zhǔn)備工作，降低了使用場景限制。
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